SIC (1) 썸네일형 리스트형 식각부품 공부 SiC,Si ring? 반도체 제조 공정 중 웨이퍼가 장비 안에서 움직이지 않도록 고정하는 역할을 하는 부품 Wafer의 재질과 동일한 Si 소재가 주류, 플라즈마 이온 등에 의한 침식이 빨라 교체주기가 짧음 이를 대체하기 위해 SiC 소재의 SiC ring이 개발됨 SiC 기업 비교 주가 https://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=14125 티씨케이, 특허소송 2심 패소…'SiC링 독점' 깨진다 - 전자부품 전문 미디어 디일렉 반도체 제조공정에 쓰이는 SiC(탄화규소)링과 관련한 티씨케이와 디에스테크노 간 특허소송 2심에서 티씨케이가 패소했다. 이번 특허는 SiC링의 물성 관련 핵심 특허다. 앞서 티씨케이는 지난 4월 www.thelec.kr 해당 이슈가 .. 이전 1 다음
